? ? SECS（SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD 2）半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)

? ? GEM（Generic Equipment Model）定義了Fab中各個場景下設(shè)備行為及其所使用SECS消息。

GEM300也稱為300mm標(biāo)準(zhǔn)，FAB是12寸設(shè)備的處理作業(yè)規(guī)范。主要包含協(xié)議E39、E40、E84、E87、E90、E94、E116。

穩(wěn)定可靠的SECS/GEM和GEM300就用廣州金南瓜

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為什么出現(xiàn)GEM300

? ? 1. 人工搬運Carrier（FOUP）愈發(fā)不靠譜。

? ? ? ? 一盒Carrier（FOUP）就有25片wafer，整個料盒足足有十幾二十斤。

? ? 2. 什么是FOUP？

? ? 前開式晶圓傳送盒FOUP(Front Opening Unified Pod)。這是半導(dǎo)體制程中被使用來保護、運送、并儲存晶圓的一種容器，其內(nèi)部可以容納25片的300mm晶圓，而其主要的組成元件為一個能容納25片晶圓的前開式容器并有一個前開式的門框?qū)Ｋ救萜鞯拈_閉，是一種專屬于12吋(300mm)晶圓廠內(nèi)的自動化傳送系統(tǒng)重要的傳載容器。 ??

? ? 3. 人工搬運方式非常不可靠，1片wafer一般數(shù)萬人民幣，也戲稱移動房子：

　　因此出現(xiàn)300mm標(biāo)準(zhǔn)：GEM300的E84、E87和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，描述OHT和AMHS自動運送系統(tǒng)。

? ? 4. 300mm的晶圓比較貴：

? ? ? ? 人工操作晶圓會可能受到塵埃（particles）影響

? ? ? ?FAB廠里面的生產(chǎn)環(huán)境都是實現(xiàn)全自動化的，

? ? ? ? ?例如：廣州金南瓜工程師到海力士、長江存儲、長鑫存儲、三星、臺積電等廠部署軟件，現(xiàn)場基本都是沒有什么人走動，要么就打掃打掃衛(wèi)生為主，比較清閑。設(shè)備出問題都是由設(shè)備工程師維護。

? ? 5. 12寸設(shè)備昂貴：

　　在前道的工藝設(shè)備一臺少則一千多萬，普普通通的設(shè)備都倆、三千萬。AMAT、ASML、TEL設(shè)備更加是大幾千萬到幾個億。不把作業(yè)效率提高，這多么浪費資源。

? ? 6.廠房寸土寸金

? ? ? ? 場內(nèi)時時刻刻都是開著干凈的風(fēng)，光刻區(qū)的百級無塵室，普通區(qū)域的千級無塵室，每一刻都是用錢凈化出來的。設(shè)備時時刻刻運行FFU（FFU是消耗品）。

E84協(xié)議介紹

1由于向大尺寸晶圓的遷移，未來的半導(dǎo)體工廠將使用廣泛的自動化材料處理系統(tǒng)（AMHS）來轉(zhuǎn)移重量不斷增加的晶圓載體，包括FOUP和開放式暗盒。必須更好地定義生產(chǎn)設(shè)備和AMHS之間的并行輸入/輸出（PI/O）控制信號，以便在生產(chǎn)設(shè)備裝載端口進行更可靠和高效的載波切換（裝載/卸載）。

2本規(guī)范旨在增強SEMI E23中定義的并行I/O接口的能力，以支持載波傳輸?shù)目煽啃院托实奶岣?。增強的能力包括連續(xù)切換、同時切換和接口上的錯誤檢測能力。