武漢電商網(wǎng)站建設(shè)sem是什么設(shè)備
我們?yōu)槭裁匆芯堪雽?dǎo)體?半導(dǎo)體憑什么可以成為電子信息行業(yè)的基礎(chǔ)呢?
這就要說到半導(dǎo)體的一個重要特點:可以通過控制摻雜率來控制它的導(dǎo)電性
集成電路IC的生產(chǎn)
集成電路IC的生產(chǎn)包括:
IC生產(chǎn)的評價體系
評價一個IC的生產(chǎn)結(jié)果,通常采用三個角度:
1.性能preferance
2.可靠性reliable
3.良率yield
性能的重要參數(shù)使晶圓片上最小特征尺寸feature size,也稱為臨界尺寸CD,等于電子元器件的通道長度(channel length)
特征尺寸越小,則元件的執(zhí)行速度越快
半導(dǎo)體行業(yè)的分類
晶圓廠
我喜歡將整個晶圓廠類比為人的消化系統(tǒng),其中包括藥品,口腔,食道,胃,胃液,營養(yǎng),排泄物
首先來講藥品
藥品包含了各種各樣的晶圓,比如:產(chǎn)品用晶圓員;測試用晶圓,會提前留片;監(jiān)測用晶圓,用于工藝檢查和顆粒檢查;傳送用檢查晶圓;虛擬晶圓,也稱為晶圓假片
藥品的膠囊在晶圓廠中稱為晶圓傳送盒FOUP,用于運輸,保護,存儲,晶圓
口腔和食道一般就是AMHS自動搬運晶圓載具automated material handling system,一般布局為海灣式(Bay)式布局
灣內(nèi)搬運一般用自動引導(dǎo)車AGV automated guiding vehicle
灣間搬運OHV,也叫高架車
胃也就是處理藥品的地方,在晶圓廠中叫無塵室。為了壓低成本,得到了微環(huán)境,也叫局部無塵。局部無塵室內(nèi)包含有FOUP,AGV,FFU風(fēng)扇過濾單元
胃液可以說是無塵室處理這些晶圓的原料或者動力
而其中,為了保證無塵,這些輔機會放置于維修區(qū)或者分布樓層
輔機與制造設(shè)備相接的界面叫平面界面
這些輔機一般提供原材料(如去離子水,大宗氣體,原料氣體)、能耗等
營養(yǎng)就是所謂的晶圓廠產(chǎn)出的各項指標(biāo),其中包括工藝性能;邊緣排除區(qū)域(要盡量小);可維護性;稼動率等于實際運行時間除以理論運行時間;產(chǎn)能,也稱為吞吐量Throughput,定義是單位運行時間內(nèi)處理晶圓的枚數(shù);占地面積;AEC/APC (advanced equipment /process control), CIM( computer integrated manufacturing) YMS (yield management system)等等生產(chǎn)管理方式